VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
p-Si<111>CZ <100ohm-cm Mitsubishi lot280152-00-437
1
(after 20 sec 3KV ion etch of freshly exposed bulk
NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5
(after 20 sec 3KV ion etch of freshly exposed bulk
p-Si<111>CZ <100ohm-cm Mitsubishi lot280152-00-437
2003
5
10
15
0
12
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
2002
44
33858
0.0603073
0.288006
1280
0.288006
1361
0.287179
1311
0.286357
1287
0.285538
1330
0.284724
1267
0.283913
1341
0.283106
1335
0.282304
1298
0.281505
1388
0.28071
1378
0.279919
1311
0.279132
1346
0.278348
1375
0.277569
1353
0.276793
1313
0.276021
1436
0.275252
1374
0.274487
1463
0.273726
1441
0.272968
1448
0.272214
1490
0.271464
1465
0.270717
1496
0.269973
1498
0.269233
1480
0.268497
1467
0.267764
1423
0.267034
1362
0.266308
1424
0.265585
1374
0.264866
1365
0.26415
1481
0.263437
1341
0.262727
1374
0.262021
1411
0.261318
1374
0.260618
1421
0.259922
1388
0.259228
1399
0.258538
1412
0.257851
1396
0.257167
1397
0.256486
1400
0.255808
1478
0.255134
1462
0.254462
1436
0.253793
1346
0.253128
1445
0.252465
1483
0.251805
1463
0.251149
1517
0.250495
1450
0.249844
1426
0.249196
1496
0.248551
1507
0.247909
1471
0.247269
1448
0.246633
1464
0.245999
1520
0.245368
1462
0.24474
1514
0.244114
1608
0.243492
1514
0.242872
1561
0.242254
1501
0.24164
1609
0.241028
1559
0.240418
1559
0.239812
1618
0.239208
1557
0.238606
1606
0.238007
1549
0.237411
1613
0.236817
1557
0.236226
1655
0.235637
1567
0.235051
1627
0.234467
1597
0.233886
1606
0.233308
1633
0.232731
1591
0.232157
1677
0.231586
1622
0.231017
1607
0.23045
1608
0.229886
1597
0.229324
1751
0.228765
1616
0.228208
1712
0.227653
1622
0.2271
1695
0.22655
1758
0.226002
1715
0.225456
1727
0.224913
1697
0.224372
1682
0.223833
1680
0.223296
1638
0.222761
1765
0.222229
1729
0.221699
1786
0.221171
1775
0.220645
1795
0.220121
1810
0.219599
1789
0.21908
1730
0.218563
1780
0.218047
1775
0.217534
1800
0.217023
1842
0.216514
1803
0.216007
1830
0.215502
1786
0.214999
1780
0.214498
1879
0.213999
1818
0.213502
1857
0.213007
1830
0.212514
1924
0.212022
1880
0.211533
1863
0.211046
1881
0.210561
1879
0.210077
1834
0.209596
1867
0.209116
1881
0.208638
1944
0.208163
1895
0.207688
1998
0.207216
1874
0.206746
1987
0.206277
2001
0.205811
1959
0.205346
1919
0.204883
1929
0.204422
1994
0.203962
1980
0.203504
2063
0.203048
2018
0.202594
2025
0.202141
1951
0.201691
2047
0.201242
2055
0.200794
1983
0.200349
2128
0.199905
2005
0.199462
2135
0.199022
2064
0.198583
2095
0.198146
2017
0.19771
2051
0.197276
2088
0.196844
2087
0.196413
2035
0.195984
2115
0.195556
2129
0.19513
2123
0.194706
2206
0.194283
2150
0.193862
2107
0.193443
2176
0.193024
2187
0.192608
2147
0.192193
2204
0.19178
2170
0.191368
2173
0.190957
2114
0.190548
2177
0.190141
2266
0.189735
2248
0.189331
2183
0.188928
2245
0.188526
2163
0.188126
2177
0.187728
2145
0.18733
2190
0.186935
2343
0.18654
2213
0.186148
2218
0.185756
2257
0.185366
2181
0.184978
2276
0.18459
2309
0.184205
2265
0.18382
2249
0.183437
2257
0.183055
2287
0.182675
2337
0.182296
2378
0.181918
2256
0.181542
2377
0.181167
2339
0.180793
2352
0.180421
2323
0.18005
2336
0.17968
2380
0.179312
2354
0.178945
2411
0.178579
2553
0.178214
2413
0.177851
2422
0.177489
2340
0.177128
2417
0.176769
2437
0.176411
2458
0.176054
2424
0.175698
2453
0.175343
2498
0.17499
2422
0.174638
2484
0.174287
2498
0.173937
2420
0.173589
2495
0.173242
2450
0.172896
2458
0.172551
2573
0.172207
2552
0.171864
2462
0.171523
2540
0.171183
2585
0.170844
2530
0.170506
2614
0.170169
2619
0.169833
2614
0.169499
2546
0.169165
2636
0.168833
2707
0.168502
2642
0.168172
2589
0.167843
2574
0.167515
2655
0.167189
2617
0.166863
2696
0.166538
2556
0.166215
2686
0.165893
2658
0.165571
2705
0.165251
2693
0.164932
2684
0.164614
2709
0.164297
2680
0.163981
2658
0.163666
2664
0.163352
2723
0.163039
2817
0.162727
2798
0.162416
2795
0.162106
2757
0.161797
2707
0.161489
2801
0.161182
2800
0.160877
2844
0.160572
2841
0.160268
2893
0.159965
2920
0.159663
2786
0.159362
2863
0.159062
2822
0.158763
2889
0.158465
2887
0.158168
2867
0.157872
2820
0.157577
2918
0.157283
2903
0.156989
2946
0.156697
2835
0.156406
2830
0.156115
2933
0.155825
2860
0.155537
2962
0.155249
2963
0.154962
2894
0.154676
2971
0.154391
2981
0.154107
2938
0.153824
3009
0.153542
2956
0.15326
3033
0.15298
3066
0.1527
3040
0.152421
3069
0.152143
3079
0.151866
3060
0.15159
3014
0.151315
3113
0.15104
3036
0.150767
3107
0.150494
3084
0.150222
3090
0.149951
3041
0.149681
3125
0.149411
3169
0.149143
3177
0.148875
3118
0.148608
3102
0.148342
3105
0.148077
3158
0.147812
3243
0.147548
3184
0.147285
3196
0.147023
3226
0.146762
3147
0.146502
3127
0.146242
3234
0.145983
3272
0.145725
3266
0.145468
3306
0.145211
3251
0.144955
3264
0.1447
3206
0.144446
3185
0.144193
3350
0.14394
3167
0.143688
3304
0.143437
3301
0.143186
3259
0.142937
3270
0.142688
3255
0.142439
3302
0.142192
3293
0.141945
3353
0.141699
3368
0.141454
3471
0.141209
3278
0.140965
3266
0.140722
3329
0.14048
3229
0.140238
3340
0.139997
3440
0.139757
3381
0.139518
3330
0.139279
3356
0.139041
3417
0.138803
3326
0.138566
3399
0.13833
3497
0.138095
3508
0.13786
3470
0.137626
3343
0.137393
3583
0.13716
3362
0.136928
3503
0.136697
3459
0.136466
3540
0.136236
3568
0.136007
3626
0.135779
3584
0.135551
3529
0.135323
3534
0.135097
3540
0.134871
3677
0.134645
3444
0.13442
3514
0.134196
3579
0.133973
3537
0.13375
3578
0.133528
3538
0.133306
3716
0.133085
3635
0.132865
3596
0.132645
3576
0.132426
3709
0.132208
3704
0.13199
3718
0.131773
3663
0.131556
3629
0.13134
3670
0.131125
3736
0.13091
3715
0.130696
3698
0.130483
3802
0.13027
3674
0.130057
3751
0.129846
3668
0.129634
3750
0.129424
3736
0.129214
3743
0.129004
3795
0.128795
3668
0.128587
3866
0.12838
3773
0.128172
3858
0.127966
3813
0.12776
3833
0.127555
3844
0.12735
3915
0.127145
3910
0.126942
3735
0.126739
3842
0.126536
3931
0.126334
3755
0.126132
3955
0.125931
3938
0.125731
3821
0.125531
4010
0.125332
3954
0.125133
3886
0.124935
3959
0.124737
4058
0.12454
3990
0.124344
3978
0.124147
3888
0.123952
3946
0.123757
3995
0.123562
3942
0.123368
3952
0.123175
4087
0.122982
3999
0.12279
4043
0.122598
4058
0.122406
4175
0.122215
4233
0.122025
4202
0.121835
4064
0.121646
4136
0.121457
4135
0.121269
4194
0.121081
4158
0.120893
4169
0.120707
4065
0.12052
4289
0.120334
4054
0.120149
4191
0.119964
4126
0.11978
4278
0.119596
4242
0.119412
4155
0.119229
4200
0.119047
4328
0.118865
4238
0.118683
4307
0.118502
4304
0.118322
4309
0.118142
4360
0.117962
4232
0.117783
4204
0.117604
4188
0.117426
4268
0.117248
4272
0.117071
4121
0.116894
4283
0.116718
4274
0.116542
4220
0.116366
4288
0.116191
4362
0.116017
4376
0.115843
4489
0.115669
4287
0.115496
4344
0.115323
4463
0.115151
4445
0.114979
4481
0.114807
4500
0.114636
4496
0.114466
4481
0.114295
4388
0.114126
4526
0.113956
4492
0.113788
4521
0.113619
4438
0.113451
4553
0.113284
4596
0.113116
4572
0.11295
4464
0.112783
4645
0.112617
4799
0.112452
5426
0.112287
5896
0.112122
5092
0.111958
4585
0.111794
4467
0.111631
4486
0.111468
4507
0.111305
4457
0.111143
4505
0.110981
4595
0.11082
4494
0.110659
4446
0.110498
4407
0.110338
4555
0.110178
4618
0.110019
4479
0.10986
4502
0.109701
4562
0.109543
4563
0.109385
4438
0.109228
4564
0.109071
4614
0.108914
4455
0.108758
4690
0.108602
4785
0.108447
4646
0.108292
4639
0.108137
4772
0.107982
4696
0.107829
4680
0.107675
4640
0.107522
4686
0.107369
4678
0.107216
4811
0.107064
4635
0.106912
4718
0.106761
4821
0.10661
4817
0.106459
4666
0.106309
4844
0.106159
4717
0.10601
4725
0.105861
4704
0.105712
4729
0.105563
4773
0.105415
4776
0.105267
4750
0.10512
4777
0.104973
4903
0.104826
4737
0.10468
4827
0.104534
4911
0.104388
4854
0.104243
4996
0.104098
4811
0.103953
4932
0.103809
4994
0.103665
4912
0.103522
4879
0.103378
4852
0.103235
4872
0.103093
5113
0.102951
4950
0.102809
4994
0.102667
4990
0.102526
5036
0.102385
4961
0.102245
4965
0.102104
5084
0.101964
5065
0.101825
4989
0.101686
4989
0.101547
5108
0.101408
5144
0.10127
5121
0.101132
5069
0.100994
5096
0.100857
5170
0.10072
5269
0.100583
5156
0.100447
5007
0.100311
5205
0.100175
5081
0.10004
5161
0.0999048
5339
0.09977
5312
0.0996356
5280
0.0995014
5101
0.0993676
5180
0.099234
5256
0.0991008
5108
0.0989679
5201
0.0988353
5314
0.098703
5341
0.098571
5269
0.0984393
5257
0.0983079
5306
0.0981767
5332
0.0980459
5425
0.0979154
5347
0.0977852
5406
0.0976553
5299
0.0975257
5352
0.0973964
5229
0.0972674
5309
0.0971386
5404
0.0970102
5453
0.096882
5440
0.0967542
5525
0.0966266
5522
0.0964993
5597
0.0963723
5567
0.0962456
5479
0.0961192
5446
0.095993
5594
0.0958672
5535
0.0957416
5586
0.0956163
5588
0.0954913
5660
0.0953666
5422
0.0952421
5527
0.095118
5538
0.0949941
5562
0.0948704
5661
0.0947471
5632
0.094624
5551
0.0945012
5681
0.0943787
5732
0.0942564
5604
0.0941345
5749
0.0940128
5710
0.0938913
5835
0.0937701
5679
0.0936492
5718
0.0935286
5785
0.0934082
6119
0.0932881
6097
0.0931683
5636
0.0930487
5660
0.0929294
5763
0.0928103
5919
0.0926915
5663
0.092573
5885
0.0924547
5761
0.0923367
5908
0.092219
5768
0.0921015
5915
0.0919842
5869
0.0918672
6007
0.0917505
5947
0.091634
5777
0.0915178
5987
0.0914018
5895
0.0912861
5879
0.0911707
5895
0.0910554
6176
0.0909405
6066
0.0908257
5946
0.0907113
6073
0.090597
6130
0.0904831
6178
0.0903693
6158
0.0902558
6080
0.0901426
6034
0.0900296
6203
0.0899168
6078
0.0898043
6069
0.089692
6214
0.08958
6312
0.0894682
6256
0.0893567
6233
0.0892453
6290
0.0891343
6259
0.0890234
6546
0.0889128
6259
0.0888024
6285
0.0886923
6442
0.0885824
6354
0.0884727
6474
0.0883633
6497
0.0882541
6397
0.0881451
6457
0.0880364
6415
0.0879279
6506
0.0878196
6447
0.0877115
6542
0.0876037
6445
0.0874961
6534
0.0873887
6404
0.0872815
6541
0.0871746
6647
0.0870679
6492
0.0869614
6793
0.0868552
6735
0.0867492
7059
0.0866434
6875
0.0865378
6842
0.0864324
6936
0.0863272
6880
0.0862223
6610
0.0861176
6666
0.0860131
6696
0.0859088
6533
0.0858048
6493
0.0857009
6567
0.0855973
6319
0.0854939
6497
0.0853907
6577
0.0852877
6472
0.0851849
6612
0.0850824
6697
0.08498
7232
0.0848779
8094
0.0847759
8284
0.0846742
7515
0.0845727
6870
0.0844714
6663
0.0843703
6540
0.0842694
6484
0.0841688
6485
0.0840683
6544
0.083968
6554
0.0838679
6451
0.0837681
6547
0.0836684
6423
0.083569
6586
0.0834697
6459
0.0833707
6592
0.0832718
6682
0.0831732
6544
0.0830747
6649
0.0829765
6397
0.0828784
6672
0.0827806
6700
0.0826829
6549
0.0825855
6792
0.0824882
6608
0.0823912
6735
0.0822943
6693
0.0821976
6771
0.0821012
6773
0.0820049
6776
0.0819088
6885
0.0818129
6757
0.0817172
6738
0.0816217
6796
0.0815264
6950
0.0814312
7035
0.0813363
7070
0.0812415
7262
0.081147
7194
0.0810526
6939
0.0809584
6959
0.0808644
6996
0.0807706
7126
0.080677
7098
0.0805835
7043
0.0804903
7081
0.0803972
7108
0.0803043
6957
0.0802116
7038
0.0801191
6987
0.0800268
7149
0.0799346
7088
0.0798427
7186
0.0797509
6994
0.0796593
7115
0.0795678
7077
0.0794766
7126
0.0793855
7247
0.0792946
7404
0.0792039
7666
0.0791134
7655
0.079023
7949
0.0789329
7790
0.0788429
7632
0.078753
7561
0.0786634
7299
0.0785739
7124
0.0784846
7167
0.0783955
6832
0.0783065
6872
0.0782177
6788
0.0781291
6740
0.0780407
6696
0.0779524
6810
0.0778643
6870
0.0777764
7328
0.0776886
9236
0.0776011
9369
0.0775136
11066
0.0774264
10618
0.0773393
7396
0.0772524
6829
0.0771657
6816
0.0770791
6796
0.0769927
6724
0.0769064
6835
0.0768203
6781
0.0767344
6944
0.0766487
6698
0.0765631
6756
0.0764777
6852
0.0763924
6974
0.0763073
6836
0.0762224
7090
0.0761376
7077
0.076053
6976
0.0759685
6944
0.0758842
7086
0.0758001
7113
0.0757162
7357
0.0756323
7135
0.0755487
7356
0.0754652
7375
0.0753819
7355
0.0752987
7212
0.0752157
7227
0.0751328
7348
0.0750501
7407
0.0749675
7308
0.0748852
7552
0.0748029
7446
0.0747208
7641
0.0746389
7633
0.0745571
7679
0.0744755
7874
0.074394
7829
0.0743127
8143
0.0742315
8176
0.0741505
8073
0.0740697
8110
0.073989
8210
0.0739084
8086
0.073828
8210
0.0737477
8031
0.0736676
8118
0.0735877
8118
0.0735078
8068
0.0734282
8213
0.0733487
8090
0.0732693
8469
0.0731901
8528
0.073111
8665
0.0730321
9118
0.0729533
9083
0.0728746
9360
0.0727961
9463
0.0727178
9815
0.0726396
9381
0.0725615
9310
0.0724836
9193
0.0724059
8943
0.0723282
9002
0.0722507
8765
0.0721734
8671
0.0720962
8670
0.0720191
8783
0.0719422
8666
0.0718654
9083
0.0717888
9296
0.0717123
9909
0.0716359
10570
0.0715597
11802
0.0714836
12813
0.0714077
12793
0.0713319
12347
0.0712562
11108
0.0711807
9994
0.0711053
9161
0.07103
8781
0.0709549
8235
0.0708799
7835
0.0708051
7489
0.0707304
7334
0.0706558
7169
0.0705814
7074
0.0705071
7414
0.0704329
7625
0.0703588
8415
0.0702849
11242
0.0702112
21923
0.0701375
33858
0.070064
19594
0.0699906
8706
0.0699174
6165
0.0698443
5449
0.0697713
5068
0.0696984
4782
0.0696257
4631
0.0695531
4636
0.0694807
4571
0.0694083
4614
0.0693361
4601
0.0692641
4804
0.0691921
5000
0.0691203
5020
0.0690486
5332
0.068977
5303
0.0689056
5524
0.0688343
5309
0.0687631
5169
0.0686921
4979
0.0686211
4774
0.0685503
4613
0.0684796
4630
0.0684091
4464
0.0683386
4333
0.0682683
4420
0.0681982
4401
0.0681281
4488
0.0680582
4800
0.0679883
5175
0.0679187
5763
0.0678491
6624
0.0677796
7605
0.0677103
8168
0.0676411
7518
0.067572
6446
0.0675031
5308
0.0674342
4585
0.0673655
4095
0.0672969
3768
0.0672284
3323
0.0671601
3139
0.0670918
2827
0.0670237
2597
0.0669557
2384
0.0668878
2459
0.06682
2371
0.0667524
2428
0.0666849
3272
0.0666174
10690
0.0665501
29608
0.066483
17933
0.0664159
2252
0.0663489
819
0.0662821
717
0.0662154
580
0.0661488
536
0.0660823
471
0.0660159
465
0.0659496
461
0.0658835
455
0.0658175
483
0.0657515
457
0.0656857
437
0.06562
432
0.0655545
488
0.065489
469
0.0654236
448
0.0653584
491
0.0652932
489
0.0652282
437
0.0651633
488
0.0650985
484
0.0650338
485
0.0649692
464
0.0649048
472
0.0648404
498
0.0647761
484
0.064712
501
0.064648
482
0.064584
498
0.0645202
473
0.0644565
482
0.0643929
510
0.0643294
512
0.064266
497
0.0642027
521
0.0641396
471
0.0640765
517
0.0640135
510
0.0639507
500
0.0638879
530
0.0638253
532
0.0637628
523
0.0637003
566
0.063638
524
0.0635758
533
0.0635136
574
0.0634516
563
0.0633897
559
0.0633279
522
0.0632662
526
0.0632046
501
0.0631431
584
0.0630817
599
0.0630204
562
0.0629592
589
0.0628981
601
0.0628371
603
0.0627762
641
0.0627155
642
0.0626548
650
0.0625942
573
0.0625337
628
0.0624733
634
0.062413
584
0.0623528
613
0.0622928
575
0.0622328
565
0.0621729
619
0.0621131
604
0.0620534
672
0.0619938
670
0.0619343
743
0.0618749
733
0.0618156
792
0.0617564
921
0.0616973
1032
0.0616383
769
0.0615794
625
0.0615206
544
0.0614619
574
0.0614032
458
0.0613447
438
0.0612863
422
0.0612279
439
0.0611697
449
0.0611115
525
0.0610535
630
0.0609955
867
0.0609377
1273
0.0608799
1137
0.0608222
732
0.0607647
728
0.0607072
647
0.0606498
532
0.0605925
591
0.0605353
573
0.0604781
464
0.0604211
206
0.0603642
44
0.0603073
(after 20 sec 3KV ion etch of freshly exposed bulk
p-Si<111>CZ <100ohm-cm Mitsubishi lot280152-00-437
2003
5
10
15
0
14
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
40
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
1002
8
2733
0.059744
0.0626548
1270
0.0626548
1320
0.0626487
1311
0.0626426
1289
0.0626366
1280
0.0626305
1313
0.0626245
1279
0.0626184
1374
0.0626124
1301
0.0626063
1283
0.0626002
1387
0.0625942
1302
0.0625881
1344
0.0625821
1242
0.062576
1252
0.06257
1255
0.0625639
1296
0.0625579
1221
0.0625518
1303
0.0625458
1337
0.0625397
1262
0.0625337
1218
0.0625277
1223
0.0625216
1226
0.0625156
1217
0.0625095
1212
0.0625035
1279
0.0624975
1227
0.0624914
1168
0.0624854
1248
0.0624793
1253
0.0624733
1274
0.0624673
1165
0.0624612
1265
0.0624552
1196
0.0624492
1262
0.0624432
1214
0.0624371
1237
0.0624311
1156
0.0624251
1209
0.0624191
1197
0.062413
1246
0.062407
1212
0.062401
1123
0.062395
1173
0.0623889
1208
0.0623829
1144
0.0623769
1149
0.0623709
1203
0.0623649
1152
0.0623589
1117
0.0623528
1206
0.0623468
1125
0.0623408
1163
0.0623348
1199
0.0623288
1156
0.0623228
1163
0.0623168
1153
0.0623108
1160
0.0623048
1144
0.0622988
1121
0.0622928
1241
0.0622868
1183
0.0622807
1127
0.0622747
1197
0.0622687
1122
0.0622627
1168
0.0622568
1181
0.0622508
1144
0.0622448
1173
0.0622388
1274
0.0622328
1128
0.0622268
1201
0.0622208
1219
0.0622148
1190
0.0622088
1182
0.0622028
1180
0.0621968
1232
0.0621908
1149
0.0621848
1207
0.0621789
1216
0.0621729
1207
0.0621669
1239
0.0621609
1209
0.0621549
1171
0.062149
1237
0.062143
1192
0.062137
1221
0.062131
1234
0.062125
1242
0.0621191
1150
0.0621131
1161
0.0621071
1221
0.0621011
1178
0.0620952
1152
0.0620892
1211
0.0620832
1196
0.0620773
1191
0.0620713
1247
0.0620653
1136
0.0620594
1189
0.0620534
1159
0.0620474
1156
0.0620415
1158
0.0620355
1252
0.0620295
1235
0.0620236
1232
0.0620176
1313
0.0620117
1246
0.0620057
1278
0.0619998
1235
0.0619938
1302
0.0619879
1320
0.0619819
1258
0.0619759
1225
0.06197
1333
0.061964
1318
0.0619581
1402
0.0619521
1407
0.0619462
1389
0.0619403
1285
0.0619343
1342
0.0619284
1383
0.0619224
1447
0.0619165
1387
0.0619105
1417
0.0619046
1459
0.0618987
1458
0.0618927
1453
0.0618868
1423
0.0618808
1504
0.0618749
1427
0.061869
1461
0.061863
1514
0.0618571
1468
0.0618512
1497
0.0618453
1499
0.0618393
1531
0.0618334
1516
0.0618275
1534
0.0618215
1478
0.0618156
1448
0.0618097
1498
0.0618038
1522
0.0617978
1541
0.0617919
1541
0.061786
1536
0.0617801
1449
0.0617742
1568
0.0617682
1530
0.0617623
1565
0.0617564
1557
0.0617505
1535
0.0617446
1537
0.0617387
1604
0.0617328
1577
0.0617268
1597
0.0617209
1592
0.061715
1559
0.0617091
1621
0.0617032
1629
0.0616973
1647
0.0616914
1781
0.0616855
1835
0.0616796
1834
0.0616737
1943
0.0616678
1968
0.0616619
2076
0.061656
2110
0.0616501
2192
0.0616442
2315
0.0616383
2220
0.0616324
2140
0.0616265
2157
0.0616206
2136
0.0616147
2098
0.0616088
1975
0.0616029
2081
0.061597
1952
0.0615912
1763
0.0615853
1803
0.0615794
1652
0.0615735
1622
0.0615676
1546
0.0615617
1423
0.0615558
1421
0.06155
1372
0.0615441
1354
0.0615382
1249
0.0615323
1349
0.0615264
1269
0.0615206
1253
0.0615147
1189
0.0615088
1266
0.0615029
1162
0.0614971
1266
0.0614912
1218
0.0614853
1263
0.0614795
1231
0.0614736
1160
0.0614677
1152
0.0614619
1176
0.061456
1171
0.0614501
1099
0.0614443
1152
0.0614384
1148
0.0614325
1177
0.0614267
1097
0.0614208
1136
0.0614149
1097
0.0614091
1128
0.0614032
1065
0.0613974
1034
0.0613915
1122
0.0613857
1102
0.0613798
1041
0.061374
1055
0.0613681
1039
0.0613622
1023
0.0613564
944
0.0613506
983
0.0613447
975
0.0613389
993
0.061333
989
0.0613272
954
0.0613213
898
0.0613155
910
0.0613096
821
0.0613038
867
0.0612979
923
0.0612921
817
0.0612863
890
0.0612804
825
0.0612746
869
0.0612688
832
0.0612629
858
0.0612571
831
0.0612513
804
0.0612454
814
0.0612396
828
0.0612338
782
0.0612279
782
0.0612221
794
0.0612163
737
0.0612105
770
0.0612046
778
0.0611988
789
0.061193
771
0.0611872
750
0.0611813
764
0.0611755
780
0.0611697
818
0.0611639
828
0.0611581
787
0.0611522
777
0.0611464
802
0.0611406
819
0.0611348
819
0.061129
791
0.0611232
827
0.0611174
862
0.0611115
820
0.0611057
848
0.0610999
849
0.0610941
847
0.0610883
845
0.0610825
864
0.0610767
932
0.0610709
853
0.0610651
930
0.0610593
945
0.0610535
939
0.0610477
987
0.0610419
986
0.0610361
991
0.0610303
1020
0.0610245
1071
0.0610187
1060
0.0610129
1112
0.0610071
1123
0.0610013
1095
0.0609955
1116
0.0609897
1204
0.060984
1251
0.0609782
1246
0.0609724
1330
0.0609666
1381
0.0609608
1385
0.060955
1530
0.0609492
1484
0.0609435
1554
0.0609377
1614
0.0609319
1706
0.0609261
1775
0.0609203
1898
0.0609146
1906
0.0609088
1951
0.060903
2070
0.0608972
2128
0.0608915
2264
0.0608857
2270
0.0608799
2474
0.0608741
2440
0.0608684
2559
0.0608626
2591
0.0608568
2666
0.0608511
2660
0.0608453
2619
0.0608395
2689
0.0608338
2733
0.060828
2554
0.0608222
2462
0.0608165
2435
0.0608107
2411
0.0608049
2326
0.0607992
2177
0.0607934
2031
0.0607877
1942
0.0607819
1933
0.0607762
1846
0.0607704
1788
0.0607647
1626
0.0607589
1576
0.0607531
1528
0.0607474
1507
0.0607416
1527
0.0607359
1447
0.0607301
1469
0.0607244
1502
0.0607187
1440
0.0607129
1345
0.0607072
1379
0.0607014
1339
0.0606957
1381
0.0606899
1367
0.0606842
1293
0.0606785
1356
0.0606727
1279
0.060667
1247
0.0606612
1276
0.0606555
1221
0.0606498
1326
0.060644
1183
0.0606383
1167
0.0606326
1178
0.0606268
1126
0.0606211
1162
0.0606154
1097
0.0606096
1138
0.0606039
1080
0.0605982
1119
0.0605925
1162
0.0605867
1060
0.060581
1117
0.0605753
1035
0.0605696
1089
0.0605639
1044
0.0605581
1060
0.0605524
1040
0.0605467
1033
0.060541
1062
0.0605353
1057
0.0605295
1076
0.0605238
1113
0.0605181
1065
0.0605124
1102
0.0605067
1117
0.060501
1154
0.0604953
1092
0.0604896
1075
0.0604838
1112
0.0604781
1185
0.0604724
1118
0.0604667
1108
0.060461
1148
0.0604553
1096
0.0604496
1139
0.0604439
1088
0.0604382
1006
0.0604325
1043
0.0604268
1028
0.0604211
997
0.0604154
946
0.0604097
921
0.060404
942
0.0603983
829
0.0603926
815
0.0603869
745
0.0603813
705
0.0603756
629
0.0603699
557
0.0603642
528
0.0603585
429
0.0603528
443
0.0603471
379
0.0603414
315
0.0603358
279
0.0603301
230
0.0603244
175
0.0603187
164
0.060313
123
0.0603073
106
0.0603017
90
0.060296
77
0.0602903
72
0.0602846
60
0.060279
49
0.0602733
48
0.0602676
36
0.0602619
36
0.0602563
46
0.0602506
31
0.0602449
40
0.0602393
20
0.0602336
38
0.0602279
33
0.0602223
25
0.0602166
33
0.0602109
38
0.0602053
31
0.0601996
24
0.0601939
31
0.0601883
28
0.0601826
28
0.060177
27
0.0601713
27
0.0601656
32
0.06016
35
0.0601543
26
0.0601487
23
0.060143
18
0.0601374
36
0.0601317
27
0.0601261
21
0.0601204
21
0.0601148
25
0.0601091
20
0.0601035
24
0.0600978
24
0.0600922
21
0.0600865
27
0.0600809
18
0.0600753
17
0.0600696
22
0.060064
22
0.0600583
19
0.0600527
15
0.0600471
19
0.0600414
17
0.0600358
23
0.0600302
24
0.0600245
21
0.0600189
21
0.0600133
15
0.0600076
33
0.060002
23
0.0599964
12
0.0599907
19
0.0599851
9
0.0599795
8
0.0599738
10
0.0599682
18
0.0599626
10
0.059957
13
0.0599514
14
0.0599457
17
0.0599401
14
0.0599345
27
0.0599289
25
0.0599233
9
0.0599176
26
0.059912
18
0.0599064
16
0.0599008
15
0.0598952
23
0.0598896
16
0.059884
18
0.0598783
15
0.0598727
16
0.0598671
13
0.0598615
18
0.0598559
16
0.0598503
12
0.0598447
22
0.0598391
14
0.0598335
12
0.0598279
12
0.0598223
22
0.0598167
12
0.0598111
8
0.0598055
13
0.0597999
16
0.0597943
15
0.0597887
15
0.0597831
11
0.0597775
15
0.0597719
14
0.0597663
14
0.0597607
8
0.0597551
14
0.0597495
20
0.059744
(after 20 sec 3KV ion etch of freshly exposed bulk
p-Si<111>CZ <100ohm-cm Mitsubishi lot280152-00-437
2003
5
10
15
0
14
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
214
18867
0.107612
0.10851
1108
0.10851
1065
0.108505
1076
0.108501
1161
0.108496
1110
0.108492
1107
0.108487
1096
0.108483
1032
0.108478
1046
0.108473
1101
0.108469
1066
0.108464
1003
0.10846
1031
0.108455
1039
0.108451
1014
0.108446
1050
0.108442
1072
0.108437
1015
0.108433
1013
0.108428
1073
0.108424
996
0.108419
1035
0.108415
1023
0.10841
991
0.108406
1014
0.108401
970
0.108397
1048
0.108392
984
0.108388
1009
0.108383
1001
0.108379
987
0.108374
1023
0.10837
1023
0.108365
992
0.108361
992
0.108356
1073
0.108352
1022
0.108347
1055
0.108343
1025
0.108338
994
0.108334
991
0.108329
937
0.108325
945
0.10832
1007
0.108315
985
0.108311
984
0.108306
957
0.108302
972
0.108297
977
0.108293
1003
0.108288
948
0.108284
960
0.108279
976
0.108275
1006
0.10827
943
0.108266
1023
0.108261
942
0.108257
1000
0.108252
979
0.108248
989
0.108243
979
0.108239
984
0.108234
968
0.10823
922
0.108225
953
0.108221
992
0.108216
923
0.108212
968
0.108207
976
0.108203
943
0.108198
1042
0.108194
965
0.108189
946
0.108185
925
0.10818
929
0.108176
893
0.108171
921
0.108167
962
0.108162
955
0.108158
903
0.108153
918
0.108149
958
0.108144
925
0.10814
968
0.108135
960
0.108131
956
0.108126
965
0.108122
956
0.108118
919
0.108113
957
0.108109
914
0.108104
974
0.1081
957
0.108095
1003
0.108091
968
0.108086
998
0.108082
994
0.108077
1006
0.108073
1013
0.108068
1041
0.108064
1076
0.108059
1003
0.108055
992
0.10805
1089
0.108046
1113
0.108041
1103
0.108037
1056
0.108032
1144
0.108028
1169
0.108023
1149
0.108019
1127
0.108014
1171
0.10801
1246
0.108005
1201
0.108001
1272
0.107996
1312
0.107992
1349
0.107987
1343
0.107983
1421
0.107978
1487
0.107974
1450
0.107969
1579
0.107965
1587
0.107961
1664
0.107956
1753
0.107952
1899
0.107947
1983
0.107943
2244
0.107938
2349
0.107934
2539
0.107929
2922
0.107925
3273
0.10792
3526
0.107916
4052
0.107911
4501
0.107907
5085
0.107902
5800
0.107898
6541
0.107893
7332
0.107889
8253
0.107884
9036
0.10788
10001
0.107875
10882
0.107871
11680
0.107867
12664
0.107862
13456
0.107858
14191
0.107853
14871
0.107849
15640
0.107844
16211
0.10784
17001
0.107835
17644
0.107831
17908
0.107826
18499
0.107822
18669
0.107817
18867
0.107813
18782
0.107808
18544
0.107804
18104
0.107799
17373
0.107795
16796
0.107791
15595
0.107786
13965
0.107782
12730
0.107777
11226
0.107773
9729
0.107768
8231
0.107764
6785
0.107759
5577
0.107755
4647
0.10775
3695
0.107746
2958
0.107741
2314
0.107737
1827
0.107732
1444
0.107728
1257
0.107724
1043
0.107719
880
0.107715
719
0.10771
689
0.107706
591
0.107701
535
0.107697
491
0.107692
447
0.107688
439
0.107683
411
0.107679
400
0.107675
353
0.10767
372
0.107666
357
0.107661
310
0.107657
300
0.107652
293
0.107648
283
0.107643
299
0.107639
264
0.107634
238
0.10763
263
0.107625
243
0.107621
247
0.107617
214
0.107612
(after 20 sec 3KV ion etch of freshly exposed bulk
p-Si<111>CZ <100ohm-cm Mitsubishi lot280152-00-437
2003
5
10
15
0
14
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.72
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
402
77
6997
0.143926
0.14497
376
0.14497
350
0.144964
341
0.144959
385
0.144954
353
0.144949
371
0.144943
413
0.144938
340
0.144933
385
0.144928
382
0.144922
362
0.144917
378
0.144912
367
0.144907
365
0.144901
346
0.144896
363
0.144891
311
0.144886
347
0.14488
363
0.144875
355
0.14487
356
0.144865
358
0.144859
373
0.144854
376
0.144849
342
0.144844
335
0.144838
332
0.144833
364
0.144828
355
0.144823
380
0.144817
328
0.144812
361
0.144807
330
0.144802
333
0.144796
319
0.144791
371
0.144786
367
0.144781
363
0.144775
319
0.14477
344
0.144765
352
0.14476
329
0.144754
358
0.144749
328
0.144744
335
0.144739
311
0.144734
341
0.144728
353
0.144723
333
0.144718
350
0.144713
318
0.144707
328
0.144702
309
0.144697
331
0.144692
343
0.144686
341
0.144681
341
0.144676
296
0.144671
317
0.144665
331
0.14466
297
0.144655
341
0.14465
302
0.144645
309
0.144639
308
0.144634
307
0.144629
321
0.144624
339
0.144618
294
0.144613
315
0.144608
326
0.144603
326
0.144597
312
0.144592
302
0.144587
296
0.144582
307
0.144577
308
0.144571
336
0.144566
326
0.144561
300
0.144556
325
0.14455
295
0.144545
343
0.14454
324
0.144535
286
0.14453
325
0.144524
355
0.144519
324
0.144514
308
0.144509
337
0.144503
313
0.144498
353
0.144493
356
0.144488
326
0.144483
355
0.144477
377
0.144472
338
0.144467
367
0.144462
357
0.144456
359
0.144451
364
0.144446
354
0.144441
343
0.144436
393
0.14443
387
0.144425
407
0.14442
413
0.144415
395
0.14441
415
0.144404
377
0.144399
360
0.144394
388
0.144389
438
0.144383
431
0.144378
402
0.144373
448
0.144368
481
0.144363
456
0.144357
472
0.144352
497
0.144347
522
0.144342
498
0.144337
554
0.144331
605
0.144326
616
0.144321
655
0.144316
670
0.144311
686
0.144305
757
0.1443
815
0.144295
932
0.14429
1048
0.144285
1158
0.144279
1280
0.144274
1467
0.144269
1798
0.144264
1974
0.144259
2304
0.144253
2550
0.144248
2779
0.144243
3279
0.144238
3549
0.144233
3865
0.144227
4281
0.144222
4464
0.144217
4922
0.144212
5104
0.144207
5484
0.144201
5584
0.144196
5703
0.144191
5965
0.144186
6199
0.144181
6498
0.144175
6639
0.14417
6770
0.144165
6997
0.14416
6923
0.144155
6913
0.144149
6833
0.144144
6419
0.144139
6159
0.144134
5585
0.144129
5060
0.144123
4409
0.144118
3748
0.144113
3065
0.144108
2576
0.144103
2016
0.144097
1540
0.144092
1170
0.144087
962
0.144082
699
0.144077
530
0.144071
408
0.144066
354
0.144061
285
0.144056
259
0.144051
188
0.144046
161
0.14404
175
0.144035
111
0.14403
153
0.144025
140
0.14402
110
0.144014
102
0.144009
112
0.144004
88
0.143999
109
0.143994
99
0.143988
86
0.143983
95
0.143978
84
0.143973
103
0.143968
87
0.143963
85
0.143957
86
0.143952
89
0.143947
77
0.143942
84
0.143937
83
0.143931
85
0.143926
(after 20 sec 3KV ion etch of freshly exposed bulk
p-Si<111>CZ <100ohm-cm Mitsubishi lot280152-00-437
2003
5
10
15
0
14
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
290
-0.2
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
20
4.00E-06
0
0
0
0
2002
154
17900
0.106992
0.127804
2859
0.127804
2888
0.127779
2887
0.127755
2837
0.12773
2841
0.127705
2917
0.127681
2958
0.127656
2903
0.127632
2965
0.127607
2834
0.127583
2961
0.127558
2948
0.127534
2952
0.127509
2936
0.127485
2926
0.127461
2934
0.127436
2957
0.127412
2995
0.127387
2899
0.127363
2951
0.127338
2924
0.127314
2956
0.12729
3040
0.127265
3029
0.127241
3184
0.127217
3198
0.127192
3286
0.127168
3322
0.127144
3285
0.127119
3243
0.127095
3313
0.127071
3139
0.127046
3146
0.127022
3195
0.126998
3223
0.126973
3137
0.126949
3104
0.126925
3133
0.126901
3097
0.126876
2929
0.126852
2959
0.126828
2836
0.126804
2966
0.12678
2905
0.126755
2939
0.126731
3017
0.126707
2925
0.126683
3002
0.126659
2874
0.126635
3014
0.12661
2943
0.126586
3012
0.126562
2903
0.126538
2993
0.126514
3059
0.12649
2973
0.126466
3005
0.126442
3001
0.126418
3057
0.126394
3032
0.126369
3040
0.126345
2975
0.126321
3014
0.126297
3008
0.126273
2912
0.126249
2972
0.126225
2997
0.126201
3095
0.126177
3053
0.126153
3052
0.126129
3080
0.126105
3070
0.126081
2958
0.126058
3028
0.126034
2860
0.12601
2978
0.125986
2950
0.125962
2933
0.125938
2954
0.125914
2959
0.12589
2999
0.125866
2961
0.125842
3001
0.125819
2938
0.125795
2953
0.125771
3021
0.125747
2999
0.125723
2975
0.125699
3061
0.125676
2951
0.125652
2985
0.125628
3005
0.125604
3015
0.12558
2901
0.125557
3010
0.125533
2970
0.125509
3014
0.125485
2923
0.125462
2947
0.125438
2988
0.125414
2994
0.12539
3086
0.125367
2906
0.125343
3022
0.125319
3063
0.125296
2995
0.125272
2948
0.125248
3009
0.125225
2974
0.125201
3017
0.125177
2914
0.125154
2990
0.12513
3106
0.125107
3011
0.125083
2993
0.125059
2966
0.125036
3023
0.125012
3004
0.124989
2987
0.124965
2896
0.124942
3065
0.124918
3035
0.124894
2917
0.124871
2991
0.124847
2918
0.124824
3045
0.1248
3076
0.124777
3043
0.124753
2956
0.12473
2999
0.124707
2980
0.124683
2983
0.12466
3042
0.124636
3101
0.124613
3104
0.124589
3074
0.124566
3088
0.124542
3158
0.124519
3098
0.124496
3198
0.124472
3142
0.124449
3219
0.124426
3278
0.124402
3332
0.124379
3226
0.124355
3262
0.124332
3302
0.124309
3272
0.124285
3302
0.124262
3263
0.124239
3372
0.124216
3310
0.124192
3249
0.124169
3298
0.124146
3299
0.124122
3369
0.124099
3212
0.124076
3291
0.124053
3263
0.12403
3238
0.124006
3219
0.123983
3285
0.12396
3112
0.123937
3109
0.123913
3153
0.12389
3254
0.123867
3133
0.123844
3140
0.123821
3100
0.123798
3101
0.123775
3095
0.123751
3055
0.123728
3020
0.123705
3037
0.123682
2943
0.123659
3016
0.123636
3022
0.123613
2967
0.12359
2925
0.123567
3010
0.123544
2965
0.12352
2955
0.123497
2976
0.123474
3029
0.123451
2867
0.123428
2899
0.123405
2890
0.123382
2914
0.123359
2896
0.123336
2977
0.123313
2837
0.12329
2828
0.123267
2847
0.123244
2875
0.123222
2790
0.123199
2908
0.123176
2963
0.123153
2883
0.12313
2865
0.123107
2853
0.123084
2757
0.123061
2799
0.123038
2771
0.123015
2816
0.122992
2893
0.12297
2855
0.122947
2912
0.122924
2747
0.122901
2880
0.122878
2735
0.122855
2905
0.122833
2796
0.12281
2843
0.122787
2721
0.122764
2873
0.122741
2877
0.122719
2765
0.122696
2794
0.122673
2846
0.12265
2887
0.122628
2892
0.122605
2922
0.122582
2943
0.122559
3018
0.122537
3218
0.122514
3500
0.122491
4088
0.122469
4327
0.122446
4437
0.122423
4537
0.122401
4420
0.122378
3854
0.122355
3488
0.122333
3251
0.12231
3316
0.122287
3893
0.122265
4563
0.122242
5377
0.12222
5825
0.122197
5895
0.122174
5978
0.122152
5450
0.122129
4641
0.122107
3624
0.122084
3257
0.122062
2955
0.122039
2906
0.122017
2895
0.121994
2843
0.121972
2895
0.121949
2868
0.121927
2795
0.121904
2775
0.121882
2739
0.121859
2831
0.121837
2827
0.121814
2819
0.121792
2819
0.121769
2884
0.121747
2811
0.121724
2867
0.121702
2885
0.12168
2742
0.121657
2865
0.121635
2803
0.121612
2814
0.12159
2890
0.121568
2747
0.121545
2859
0.121523
2900
0.121501
2876
0.121478
2915
0.121456
2870
0.121434
2889
0.121411
2885
0.121389
2769
0.121367
2888
0.121344
2820
0.121322
2786
0.1213
2894
0.121277
2968
0.121255
2775
0.121233
2827
0.121211
2780
0.121188
2834
0.121166
2868
0.121144
2856
0.121122
2878
0.121099
2890
0.121077
2941
0.121055
2853
0.121033
2846
0.121011
2960
0.120989
2889
0.120966
2829
0.120944
2966
0.120922
2867
0.1209
2828
0.120878
2859
0.120856
2879
0.120834
2835
0.120811
2839
0.120789
2909
0.120767
2876
0.120745
2880
0.120723
2865
0.120701
2880
0.120679
2932
0.120657
2901
0.120635
2872
0.120613
2888
0.120591
2854
0.120569
2869
0.120547
2910
0.120525
2959
0.120503
2892
0.120481
2919
0.120459
2887
0.120437
2914
0.120415
2926
0.120393
2941
0.120371
2797
0.120349
2941
0.120327
2984
0.120305
3041
0.120283
2959
0.120261
2919
0.120239
2902
0.120217
2913
0.120195
2964
0.120173
3051
0.120151
2903
0.12013
2877
0.120108
3052
0.120086
2976
0.120064
2992
0.120042
2961
0.12002
3032
0.119998
2994
0.119977
3122
0.119955
2997
0.119933
3072
0.119911
3043
0.119889
3029
0.119867
3021
0.119846
3084
0.119824
3041
0.119802
2995
0.11978
2993
0.119759
3036
0.119737
2928
0.119715
3027
0.119693
3043
0.119672
3027
0.11965
3049
0.119628
2997
0.119607
3158
0.119585
3023
0.119563
3073
0.119541
2972
0.11952
3088
0.119498
3134
0.119476
3015
0.119455
3110
0.119433
2952
0.119412
3089
0.11939
3099
0.119368
3075
0.119347
3067
0.119325
3033
0.119303
3218
0.119282
3150
0.11926
3075
0.119239
3099
0.119217
3022
0.119196
3100
0.119174
3076
0.119152
3059
0.119131
3140
0.119109
3071
0.119088
3036
0.119066
3072
0.119045
3276
0.119023
3105
0.119002
3060
0.11898
3161
0.118959
3072
0.118937
3095
0.118916
3061
0.118894
3244
0.118873
3100
0.118851
3076
0.11883
2917
0.118809
3120
0.118787
3067
0.118766
3199
0.118744
3101
0.118723
3137
0.118702
3113
0.11868
3179
0.118659
3165
0.118637
3112
0.118616
3111
0.118595
3102
0.118573
3168
0.118552
3147
0.118531
3125
0.118509
3284
0.118488
3137
0.118467
3176
0.118445
3183
0.118424
3258
0.118403
3153
0.118381
3205
0.11836
3233
0.118339
3269
0.118318
3239
0.118296
3312
0.118275
3322
0.118254
3295
0.118233
3171
0.118211
3312
0.11819
3228
0.118169
3295
0.118148
3199
0.118126
3334
0.118105
3337
0.118084
3265
0.118063
3225
0.118042
3304
0.118021
3319
0.117999
3309
0.117978
3346
0.117957
3376
0.117936
3355
0.117915
3462
0.117894
3352
0.117873
3307
0.117851
3313
0.11783
3321
0.117809
3374
0.117788
3337
0.117767
3335
0.117746
3385
0.117725
3330
0.117704
3424
0.117683
3391
0.117662
3391
0.117641
3452
0.11762
3444
0.117599
3390
0.117578
3396
0.117557
3325
0.117536
3452
0.117515
3456
0.117494
3463
0.117473
3405
0.117452
3334
0.117431
3403
0.11741
3386
0.117389
3301
0.117368
3327
0.117347
3310
0.117326
3305
0.117305
3325
0.117284
3305
0.117263
3378
0.117242
3418
0.117221
3360
0.1172
3237
0.117179
3348
0.117159
3409
0.117138
3339
0.117117
3413
0.117096
3427
0.117075
3359
0.117054
3329
0.117033
3370
0.117013
3376
0.116992
3325
0.116971
3348
0.11695
3341
0.116929
3306
0.116909
3268
0.116888
3331
0.116867
3363
0.116846
3385
0.116825
3433
0.116805
3365
0.116784
3365
0.116763
3437
0.116742
3399
0.116722
3476
0.116701
3503
0.11668
3589
0.116659
3475
0.116639
3543
0.116618
3468
0.116597
3490
0.116577
3464
0.116556
3442
0.116535
3573
0.116515
3556
0.116494
3667
0.116473
3695
0.116453
3708
0.116432
3553
0.116411
3535
0.116391
3617
0.11637
3704
0.11635
3846
0.116329
3815
0.116308
3812
0.116288
3871
0.116267
3903
0.116247
3845
0.116226
3957
0.116205
3904
0.116185
3796
0.116164
3879
0.116144
3983
0.116123
4048
0.116103
3913
0.116082
3978
0.116062
3887
0.116041
3867
0.116021
3936
0.116
3914
0.11598
3935
0.115959
4102
0.115939
3885
0.115918
3854
0.115898
3953
0.115877
3923
0.115857
3859
0.115836
3837
0.115816
3826
0.115796
3851
0.115775
3872
0.115755
3884
0.115734
3705
0.115714
3718
0.115693
3736
0.115673
3730
0.115653
3633
0.115632
3679
0.115612
3677
0.115592
3690
0.115571
3598
0.115551
3658
0.115531
3676
0.11551
3602
0.11549
3549
0.11547
3606
0.115449
3645
0.115429
3563
0.115409
3626
0.115388
3492
0.115368
3580
0.115348
3548
0.115328
3627
0.115307
3496
0.115287
3510
0.115267
3539
0.115246
3501
0.115226
3443
0.115206
3532
0.115186
3470
0.115166
3390
0.115145
3591
0.115125
3499
0.115105
3482
0.115085
3565
0.115065
3543
0.115044
3592
0.115024
3575
0.115004
3583
0.114984
3451
0.114964
3592
0.114944
3505
0.114923
3633
0.114903
3586
0.114883
3607
0.114863
3628
0.114843
3649
0.114823
3833
0.114803
3866
0.114783
3860
0.114762
3894
0.114742
3843
0.114722
3982
0.114702
4109
0.114682
4068
0.114662
4053
0.114642
4223
0.114622
4237
0.114602
4373
0.114582
4414
0.114562
4435
0.114542
4598
0.114522
4694
0.114502
4731
0.114482
4839
0.114462
4889
0.114442
4976
0.114422
5197
0.114402
5241
0.114382
5308
0.114362
5217
0.114342
5339
0.114322
5380
0.114302
5258
0.114282
5350
0.114262
5207
0.114242
5221
0.114222
5057
0.114203
5104
0.114183
4925
0.114163
4757
0.114143
4843
0.114123
4559
0.114103
4541
0.114083
4328
0.114063
4124
0.114044
4235
0.114024
4103
0.114004
4040
0.113984
3897
0.113964
3943
0.113944
3864
0.113925
3740
0.113905
3666
0.113885
3696
0.113865
3586
0.113845
3590
0.113826
3454
0.113806
3426
0.113786
3515
0.113766
3460
0.113746
3374
0.113727
3294
0.113707
3242
0.113687
3275
0.113667
3342
0.113648
3194
0.113628
3256
0.113608
3243
0.113589
3124
0.113569
3113
0.113549
3120
0.11353
2989
0.11351
3013
0.11349
3100
0.11347
3035
0.113451
2942
0.113431
3008
0.113412
2961
0.113392
3016
0.113372
2916
0.113353
2865
0.113333
2941
0.113313
2942
0.113294
2867
0.113274
2912
0.113255
2864
0.113235
2957
0.113215
2877
0.113196
2842
0.113176
2948
0.113157
2913
0.113137
2973
0.113118
2973
0.113098
2961
0.113078
2948
0.113059
3000
0.113039
3098
0.11302
3095
0.113
3111
0.112981
3173
0.112961
3228
0.112942
3265
0.112922
3222
0.112903
3386
0.112883
3534
0.112864
3740
0.112844
3944
0.112825
4100
0.112805
4362
0.112786
4610
0.112767
5302
0.112747
5978
0.112728
6852
0.112708
8186
0.112689
10200
0.112669
12766
0.11265
15120
0.112631
17293
0.112611
17624
0.112592
16252
0.112572
13540
0.112553
10439
0.112534
8017
0.112514
6249
0.112495
4926
0.112476
4356
0.112456
3620
0.112437
3438
0.112418
2989
0.112398
2768
0.112379
2586
0.11236
2561
0.11234
2434
0.112321
2347
0.112302
2262
0.112283
2226
0.112263
2201
0.112244
2144
0.112225
2057
0.112205
2022
0.112186
2035
0.112167
1980
0.112148
1951
0.112128
1915
0.112109
2023
0.11209
1895
0.112071
1922
0.112052
1889
0.112032
1879
0.112013
1881
0.111994
1869
0.111975
1851
0.111956
1848
0.111936
1858
0.111917
1791
0.111898
1809
0.111879
1885
0.11186
1817
0.111841
1816
0.111822
1809
0.111802
1843
0.111783
1878
0.111764
1889
0.111745
1757
0.111726
1847
0.111707
1763
0.111688
1841
0.111669
1931
0.11165
1834
0.11163
1843
0.111611
1956
0.111592
1873
0.111573
1988
0.111554
1854
0.111535
1898
0.111516
1798
0.111497
1957
0.111478
1998
0.111459
1888
0.11144
1954
0.111421
1941
0.111402
1999
0.111383
1931
0.111364
1968
0.111345
2020
0.111326
2070
0.111307
2128
0.111288
1996
0.111269
2065
0.11125
2077
0.111231
2066
0.111212
2076
0.111193
2059
0.111174
2227
0.111155
2211
0.111137
2262
0.111118
2178
0.111099
2202
0.11108
2235
0.111061
2289
0.111042
2253
0.111023
2188
0.111004
2228
0.110985
2176
0.110967
2213
0.110948
2201
0.110929
2201
0.11091
2242
0.110891
2194
0.110872
2170
0.110853
2177
0.110835
2125
0.110816
2078
0.110797
2106
0.110778
2088
0.110759
1961
0.110741
2079
0.110722
1928
0.110703
2102
0.110684
1934
0.110665
1983
0.110647
2043
0.110628
1890
0.110609
1941
0.11059
1951
0.110572
1958
0.110553
1852
0.110534
1891
0.110516
1859
0.110497
1744
0.110478
1783
0.110459
1849
0.110441
1814
0.110422
1795
0.110403
1761
0.110385
1742
0.110366
1707
0.110347
1755
0.110329
1736
0.11031
1719
0.110291
1736
0.110273
1746
0.110254
1781
0.110235
1700
0.110217
1765
0.110198
1765
0.11018
1742
0.110161
1670
0.110142
1698
0.110124
1707
0.110105
1786
0.110087
1695
0.110068
1726
0.110049
1698
0.110031
1718
0.110012
1743
0.109994
1817
0.109975
1737
0.109957
1826
0.109938
1722
0.109919
1863
0.109901
1842
0.109882
1845
0.109864
1871
0.109845
1956
0.109827
2010
0.109808
2042
0.10979
2040
0.109771
2050
0.109753
2122
0.109734
2094
0.109716
2180
0.109698
2211
0.109679
2305
0.109661
2423
0.109642
2463
0.109624
2561
0.109605
2674
0.109587
2644
0.109568
2839
0.10955
2906
0.109532
3022
0.109513
2945
0.109495
3096
0.109476
3189
0.109458
3370
0.10944
3306
0.109421
3311
0.109403
3378
0.109385
3225
0.109366
3234
0.109348
3126
0.109329
3183
0.109311
3101
0.109293
2926
0.109274
2855
0.109256
2735
0.109238
2516
0.109219
2452
0.109201
2280
0.109183
2280
0.109165
2132
0.109146
2118
0.109128
2020
0.10911
1954
0.109091
1882
0.109073
1832
0.109055
1774
0.109037
1733
0.109018
1673
0.109
1595
0.108982
1557
0.108964
1619
0.108945
1504
0.108927
1471
0.108909
1442
0.108891
1457
0.108873
1391
0.108854
1377
0.108836
1345
0.108818
1306
0.1088
1331
0.108782
1277
0.108763
1310
0.108745
1250
0.108727
1189
0.108709
1210
0.108691
1231
0.108673
1243
0.108655
1144
0.108636
1215
0.108618
1098
0.1086
1077
0.108582
1105
0.108564
1052
0.108546
1073
0.108528
1076
0.10851
1036
0.108492
1074
0.108473
1080
0.108455
1031
0.108437
1001
0.108419
991
0.108401
1000
0.108383
943
0.108365
958
0.108347
1023
0.108329
1007
0.108311
1046
0.108293
944
0.108275
920
0.108257
944
0.108239
946
0.108221
980
0.108203
944
0.108185
956
0.108167
916
0.108149
987
0.108131
1049
0.108113
1057
0.108095
1058
0.108077
1092
0.108059
1250
0.108041
1275
0.108023
1301
0.108005
1588
0.107987
1748
0.107969
2174
0.107952
2913
0.107934
4522
0.107916
7117
0.107898
10323
0.10788
13823
0.107862
16536
0.107844
17900
0.107826
17418
0.107808
13869
0.107791
8526
0.107773
3876
0.107755
1589
0.107737
767
0.107719
508
0.107701
400
0.107683
344
0.107666
269
0.107648
232
0.10763
199
0.107612
205
0.107594
202
0.107577
192
0.107559
181
0.107541
191
0.107523
154
0.107505
208
0.107488
203
0.10747
198
0.107452
185
0.107434
163
0.107417
181
0.107399
183
0.107381
190
0.107363
173
0.107346
177
0.107328
180
0.10731
159
0.107292
179
0.107275
180
0.107257
166
0.107239
196
0.107222
167
0.107204
155
0.107186
173
0.107169
167
0.107151
176
0.107133
186
0.107116
206
0.107098
168
0.10708
164
0.107063
157
0.107045
193
0.107027
161
0.10701
173
0.106992
end of experiment
